電子材料
フォトレジスト
ZPNリフトオフレジストは、逆テーパー形状の制御性と解像性、剥離性に優れたネガ型リフトオフレジストです。
ZPN1150の特長・用途例
リストオフプロセス
一回の露光で逆テーパー形状を形成することが可能です。
ZPN1150のレジストリ形状
・テーパー角の制御が容易
・プロセスマージンが広い
・剥離性に優れる
・耐熱性に優れる
| 特性 | ZPN1150 |
|---|---|
| テーパー角 | ＞ 60° |
| 耐熱性 | 100℃ |
| 剥離性 | MEA/DMSO=70/30混合溶液で剥離可能 |
- LEDチップの配線形成用リフトオフレジスト
- 化合物半導体を用いた電子デバイスの配線形成用リフトオフレジスト
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