電子材料
エッチングガス(C5F8)
特長
半導体(Memory/LSI)

- 幅広いプロセスマージン
- 高エッチングレート、高選択比
- バランスのとれた大気寿命、地球温暖化係数も最小
Physical Properties
ZEORORA® ZFL-58 (C5F8) | |
Boiling Point (℃) | 27 |
Specific Gravity (25℃) | 1.5800 |
Viscosity (Pa・s) | 0.0038 |
Surface Tention (mN/m) | 17.8 |
Specific Heat (J/(kg・K)) | 1160 |
Latent Heat of Vaporization (kJ/kg) | 118 |
Critical Temperature (℃) | 159.9 |
Critical Pressure (MPa) | 2.47 |
Flash Point (℃) | No flash point |
Explosive Propeties | Non-explosive |
Flammability | Non-Flammable |
Solubility for Water (g/100g water) | 0.00756 |
Solubility of Water(g/100g solvent) | 0.0072 |
Atmospheric Lifetime(year) | 0.98 |
GWP (CO2=1 100 years) | 90 |
- ※本製品の開発は、当時の通産省・工業技術院物質工学工業技術研究所との共同開発で進めてまいりました。
電子材料のお問い合わせ
- 高機能マテリアル事業部
- 03-3216-0590