電子材料
電子線レジスト
超高解像度電子線レジスト：ZEP520A
特長
ZEP520Aは、解像性とドライエッチング耐性に優れた、非化学増幅型のポジ型電子線レジストです。
電子線レジスト製品構成
| 品名 | 粘度 （mPa・s） |
塗布膜厚（nm） ＠2000rpm |
溶剤 | 包装形態 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 電子線レジスト | ZEP520A | 11 | 500 | アニソール | 1QT瓶/100ml瓶 |
| ZEP520A-7 | 7 | 300 | |||
電子線レジスト用現像液製品構成
| 品名 | 特長 | 包装形態 | |
|---|---|---|---|
| 現像液 | ZED-N50 | 高感度 | ガロン瓶 |
ZEP520A
スピンカーブ
高解像性
ZEP520AはL/S＝25nm/25nm（FT=50nm）を解像します。
現像液：ZED-N50
評価サンプル：ZEP520A-7をアニソールnにて2.1倍に希釈。
超高解像度電子線レジスト：ZEP530A
特長
ZEP530Aは、解像性とドライエッチング耐性に優れ、且つプロセスマージンの広い非化学増幅型のポジ型電子線レジストで、薄膜形成が可能です。
製品
| 品名 | 粘度 （mPa・s） |
塗布膜厚（nm） ＠2000rpm |
溶剤 | 包装形態 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 電子線レジスト | ZEP530A-6 | 6 | 200 | アニソール | 1QT瓶/100ml瓶 |
電子線レジスト用新規現像液
| 品名 | 特長 | 包装形態 | |
|---|---|---|---|
| 現像液 | ZED-N60 | 高解像度 広いマージン |
ガロン瓶 |
ZEP530A
スピンカーブ
ZEP530A-6 : 150～300nmの膜厚で塗布可能です。
高解像性
ZEP530Aは、L/S=18nmを解像します。
また、広い露光マージンを有しています。評価サンプル：ZEP520A-7をアニソールnにて2.1倍に希釈。
評価サンプル：ZEP530A-6をアニソールにて3倍に希釈。
電子材料のお問い合わせ
- 高機能マテリアル事業部
- 03-3216-0590