半导体

瑞翁（Zeon）面向新一代半导体制造提供各种高选择比的绝缘膜蚀刻气体。

• 蚀刻气体（C5F8）
• 高选择比SiN蚀刻气体（研发中） ^※
• 高选择比SiO2、Low-K蚀刻气体（研发中） ^※

• 光刻胶
• 电子束光刻胶