信息材料
蚀刻气体（C5F8）
特性
半导体（Memory／LSI）
- 较宽的工序余量
- 高蚀刻速率、高选择比
- 较为平衡的大气寿命、地球温暖化系数也最小
Physical Properties
| ZEORORA® ZFL-58 (C5F8) | |
| Boiling Point (℃) | 27 |
| Specific Gravity (25℃) | 1.5800 |
| Viscosity (Pa・s) | 0.0038 |
| Surface Tention (mN/m) | 17.8 |
| Specific Heat (J/(kg・K)) | 1160 |
| Latent Heat of Vaporization (kJ/kg) | 118 |
| Critical Temperature (℃) | 159.9 |
| Critical Pressure (MPa) | 2.47 |
| Flash Point (℃) | No flash point |
| Explosive Propeties | Non-explosive |
| Flammability | Non-Flammable |
| Solubility for Water (g/100g water) | 0.00756 |
| Solubility of Water(g/100g solvent) | 0.0072 |
| Atmospheric Lifetime（year） | 0.98 |
| GWP (CO2=1 100 years) | 90 |
- ※本产品的研发通产省工业技术院物质工学工业技术研究所共同。
电子材料事业联系方式
- 电子材料事业推进部 事业推进组
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