信息材料
电子束光刻胶
超高解析度電子束光阻：ZEP520A
特性
ZEP520A乃一具有「超高解析度」、「耐乾式蝕刻」特性的非化學增幅型（斷鏈型）負型電子束光阻。
電子束光阻產品表
| 品名 | 黏度 （mPa・s） |
塗佈膜厚（nm） @2000rpm |
溶劑 | 包裝方式 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 電子束光阻 | ZEP520A | 11 | 500 | Anisole | 1QT瓶 / 100ml瓶 |
| ZEP520A-7 | 7 | 300 | |||
電子束光阻專用顯影液
| 品名 | 特徵 | 包裝方式 | |
|---|---|---|---|
| 顯影液 | ZED-N50 | 高感度 | 加侖瓶 |
ZEP520A
Spin Curve
超高解析度
ZEP520A具L/S＝25nm/25nm（FT=50nm）解析能力。
顯影液：ZED-N50
评价样品：用Anisole将ZEP 520 A-7稀释2.1倍
超高解析度電子束光阻：ZEP530A
特徵
ZEP530A是一种非化学放大型正型电子束抗蚀剂，具有优异的分辨率和耐干蚀刻性以及宽的工艺余量。
薄膜形成是可能的。
電子束光阻產品表
| 品名 | 黏度 （mPa・s） |
塗佈膜厚（nm） @2000rpm |
溶劑 | 包裝方式 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 電子束光阻 | ZEP530A-6 | 6 | 200 | Anisole | 1QT瓶 / 100ml瓶 |
電子束光阻專用新型顯影液
| 品名 | 特徵 | 包裝方式 | |
|---|---|---|---|
| 顯影液 | ZED-N60 | 超高解析度 宽的工艺余量 |
加侖瓶 |
ZEP530A
Spin Curve
ZEP530A-6：涂膜厚度为150~300 nm。
超高解析度
ZEP530A解析L/S=18 nm。
它具有广泛的曝光余量
评价样品：用Anisole将ZEP 530 A-6稀释3倍
电子材料事业联系方式
- 电子材料事业推进部 事业推进组
- +81-3-3216-0590