信息材料
光刻胶
ZPN乃一具優異「倒斜度(倒錐度)控制能力」、「解像力」、「易掀離性」表現的掀離製程用負型光阻。
ZPN1150特長・用途例

掀離(Lift-off)製程
僅憑單次曝光即可完成倒斜度(倒錐度)的形狀。

特徵及光阻形狀
・斜度(錐度)易於控制
・具有製程參數餘裕
・易掀離
・高耐熱表現
特徵 | ZPN1150 |
---|---|
斜度(錐度) | > 60° |
耐熱表現 | 100℃ |
易掀離 | 以MEA/DMSO=70/30比例混合即可掀離 |
- LED晶片線路製程用掀離(Lift-off)光阻
- 化合物半導體(複合半導體)之電子元件線路製程用掀離(Lift-off)光阻
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- 电子材料事业推进部 事业推进组
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