電子材料

塗布型絶縁材料

ZEOCOAT® ; ディスプレイ向け塗布型絶縁膜、保護膜

特長

高光透過性
高光透過性

ディスプレイや光学部品用途に最適です。

低吸水性
低吸水性

電子機器を水分による劣化から守ります。

低誘電率
低誘電率

デバイスの低消費電力化と低ノイズ化に寄与します。

高耐熱性
高耐熱性

広いプロセスマージンを提供できます。

ZEOCOAT® ZC100; 半導体パッケージ基板向け層間絶縁材料
アルカリ現像タイプのポジ型感光性絶縁材料:ZEOCOAT® ZC100

特長

誘電率
誘電率
解像性
解像性

<Condition>
ZC100 Film Thickness : 10 um
Prebake : 120 deg. C, 2 min.
Exposure : g‐Line Stepper, No defocus, 900mJ/cm2
Development : 2.38%TMAH, 23 deg. C, 90 sec.
Cure : 180 deg. C

平坦性
平坦性

DOP: Degree of Planarization
A prefect planarization has a DOP of 1.0.

信頼性試験
信頼性試験

<Test Condition>
Film Thickness : 5um
Comb Cu Electrode L / S = 2 um / 2 um

シリーズ・品番

ZEOCOAT® ; ディスプレイ向け塗布型絶縁膜、保護膜

ZEOCOAT® ES2110-10 ZEOCOAT® CP1010-14 ZEOCOAT® CP4110-4
感光性 非感光タイプ ポジ型感光タイプ ポジ型感光タイプ
粘度(cP) 10 14 5
塗布膜厚(um) ~2 ~2 ~2/Slit
乾燥条件 90deg.C, 120s 110deg.C, 120s 90deg.C, 90s
露光条件 - 2.38%TMAH, 40s 0.4%TMAH, 60s
硬化条件 230deg.C, 60min, N2 230deg.C, 60min, N2 230deg.C, 60min, N2
透明性
(%@400nm, 2um)
99 97 92
吸水
(ppm)
60 190 180
比誘電率
(@1MHz)
3.3 3.4 3.4
5% 減量温度
(deg.C, under N2)
350 340 350
線膨張係数
(ppm/K)
52 57 57
硬化収縮率
(%)
2 1 5
破壊電圧
(MV/cm)
6.9 7.4 7.5
リーク電流
(A@2MV/cm)
1.4E-10 4.3E-11 3.3E-11

ZEOCOAT® ZC100; 半導体パッケージ基板向け層間絶縁材料
アルカリ現像タイプのポジ型感光性絶縁材料:ZEOCOAT® ZC100

ZC100
Photosensitive Type(Positive)
Curing Temp. 180 200 230
Physical
Properties
Young's Modulus
[GPa]
2.7 2.5 2.4
CTE x-y(<Tg)
[ppm/K]
56 54 52
Curing Shrinkage
[%]
4.5 5.3 6.7
5% Weight Loss Temp.
[℃]
334 342 348
Tg(TMA)
[℃]
192 215 219
Mechanical
Properties
Tensile Strength
[MPa]
100 100 100
Elongation
[%]
10 12 13
Electrical
Properties
Dielectric Constant
(@ 10 GHz)
2.8 2.8 2.8
Dielectric Breakdown Strength
[kV / mm]
> 300 > 300 > 300
Surface Resistivity
[Ω]
> 8×1015 > 8×1015 > 8×1015
Volume Resistivity
[Ω・cm]
> 3×1016 > 3×1016 > 3×1016
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