信息材料
光刻胶
ZPN乃一具優異「倒斜度（倒錐度）控制能力」、「解像力」、「易掀離性」表現的掀離製程用負型光阻。
ZPN1150特長・用途例
掀離(Lift-off)製程
僅憑單次曝光即可完成倒斜度（倒錐度）的形狀。
特徵及光阻形狀
・斜度（錐度）易於控制
・具有製程參數餘裕
・易掀離
・高耐熱表現
| 特徵 | ZPN1150 |
|---|---|
| 斜度（錐度） | ＞ 60° |
| 耐熱表現 | 100℃ |
| 易掀離 | 以MEA/DMSO=70/30比例混合即可掀離 |
- LED晶片線路製程用掀離(Lift-off)光阻
- 化合物半導體（複合半導體）之電子元件線路製程用掀離(Lift-off)光阻
电子材料事业联系方式
- 电子材料事业推进部 事业推进组
- +81-3-3216-0590