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半導体用途

ZEONEX®(ゼオネックス)/ZEONOR® (ゼオノア)は、不純物が非常に少ない、大変クリーンな樹脂です。また、低吸水で水分透過性が低い物性をもち、水分による影響も低減することが可能です。これらの特長から半導体製造工程で使用される容器などに展開されています。

低脱ガス性/低不純物性

他のオレフィン樹脂と比べて、樹脂からの脱ガスが少なく、不純物の非常に少ない特長を有します。

  • 加熱した時の樹脂からの放出ガス量

ZEONEX®中の不純物濃度
不純物種類 測定限界(ppm) 不純物濃度
Ca+ 0.02 測定限界未満
Na2+ 0.02
Cl- 0.2
1.1
2.7
3.3
  • このデータは保証値ではありません

低吸水性/低透湿性

ZEONEX®(ゼオネックス)/ZEONOR® (ゼオノア)は、非常に吸水性が低く、水蒸気バリア性の高い特長を有します。

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