製品・事業

超高解像度電子線レジスト:ZEP520A印刷用ページ

特長

ZEP520Aは、解像性とドライエッチング耐性に優れた、非化学増幅型のポジ型電子線レジストです。

電子線レジスト製品構成

  • 電子線レジスト製品構成

電子線レジスト用現像液製品構成

  • 電子線レジスト用現像液製品構成


高解像性

ZEP520AはL/S=30nm/30nm(FT=50nm)を解像します。
現像液:ZED-N50

高解像性

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