当社のエッチングガス・ゼオローラZFL-58(C5F8)は、地球環境にやさしいエッチングガスです。
（詳しい内容はこちらからどうぞ）
下記の賞を受賞しております。
| 受賞年 | 主催者名 | 対象技術・賞名 |
|---|---|---|
| 1998年 | 米国EPA (EPA=Environmental Protection Agancy) |
Stratospheric Ozone Protection Award （オゾン層保護賞） |
| 2000年 | 社団法人 日本化学工業協会 | 第32回 日化協技術賞環境技術賞 「低環境負荷型 新世代フッ素系材料の開発と工業化」 |
| 2000年 | 財団法人 化学・バイオつくば財団 | 第8回 化学/バイオつくば賞 「地球環境調和型新世代フッ素系材料の開発と実用化」 |
| 2003年 | グリーン･サスティナブルケミストリーネットワーク | 第2回 グリーンサスティナブルケミストリー賞環境大臣賞 「地球に優しい新規五員環状フッ素化合物の製造技術」 |
| 2008年 | 日刊工業新聞社 | 第11回 オゾン層保護・地球温暖化防止大賞 優秀賞 「地球環境対応型フッ素化合物の開発」 |
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