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地球環境にやさしいエッチングガス・ゼオローラZFL-58 (C5F8)印刷用ページ

2008年9月9日

当社のエッチングガス・ゼオローラZFL-58(C5F8)は、地球環境にやさしいエッチングガスです。
(詳しい内容はこちらからどうぞ)

下記の賞を受賞しております。

受賞年 主催者名 対象技術・賞名
1998年 米国EPA
(EPA=Environmental Protection Agancy)
Stratospheric Ozone Protection Award
(オゾン層保護賞)
2000年 社団法人 日本化学工業協会 第32回 日化協技術賞環境技術賞
「低環境負荷型 新世代フッ素系材料の開発と工業化」
2000年 財団法人 化学・バイオつくば財団 第8回 化学/バイオつくば賞
「地球環境調和型新世代フッ素系材料の開発と実用化」
2003年 グリーン・サスティナブルケミストリーネットワーク 第2回 グリーンサスティナブルケミストリー賞環境大臣賞
「地球に優しい新規五員環状フッ素化合物の製造技術」
2008年 日刊工業新聞社 第11回 オゾン層保護・地球温暖化防止大賞 優秀賞
「地球環境対応型フッ素化合物の開発」

Stratospheric Ozone Protection Award Stratospheric Ozone Protection Award
第32回 日化協技術賞環境技術賞 第32回 日化協技術賞環境技術賞
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