電子材料

電子線レジスト

超高解像度電子線レジスト:ZEP520A

特長

ZEP520Aは、解像性とドライエッチング耐性に優れた、非化学増幅型のポジ型電子線レジストです。

電子線レジスト製品構成

品名 粘度
(mPa・s)
塗布膜厚(nm)
@2000rpm
溶剤 包装形態
電子線レジスト ZEP520A 11 500 アニソール 1QT瓶/100ml瓶
ZEP520A-7 7 300

電子線レジスト用現像液製品構成

品名 特長 包装形態
現像液 ZED-N50 高感度 ガロン瓶

ZEP520A

スピンカーブ
スピンカーブ
ZEP520A高解像性(2)
高解像性

ZEP520AはL/S=25nm/25nm(FT=50nm)を解像します。
現像液:ZED-N50
評価サンプル:ZEP520A-7をアニソールnにて2.1倍に希釈。

超高解像度電子線レジスト:ZEP530A

特長

ZEP530Aは、解像性とドライエッチング耐性に優れ、且つプロセスマージンの広い非化学増幅型のポジ型電子線レジストで、薄膜形成が可能です。

製品

品名 粘度
(mPa・s)
塗布膜厚(nm)
@2000rpm
溶剤 包装形態
電子線レジスト ZEP530A-6 6 200 アニソール 1QT瓶/100ml瓶

電子線レジスト用新規現像液

品名 特長 包装形態
現像液 ZED-N60 高解像度
広いマージン
ガロン瓶

ZEP530A

スピンカーブ
スピンカーブ

ZEP530A-6 : 150~300nmの膜厚で塗布可能です。

ZEP530A
高解像性

ZEP530Aは、L/S=18nmを解像します。
また、広い露光マージンを有しています。評価サンプル:ZEP520A-7をアニソールnにて2.1倍に希釈。
評価サンプル:ZEP530A-6をアニソールにて3倍に希釈。

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