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第11回オゾン層保護・地球温暖化防止大賞 優秀賞受賞印刷用ページ

2008年9月9日

受賞タイトル:「地球環境対応型フッ素化合物の開発」

  • 第11回オゾン層保護・地球温暖化防止大賞優秀賞受賞盾イメージ画像

この度、日本ゼオンと産業技術総合研究所は、オゾン層保護・地球温暖化防止に貢献する5員環構造を有する独創的な2種類のフッ素系化合物を共同で研究開発し、実用化に至ったことにより、日刊工業新聞社主催「第11回オゾン層保護・地球温暖化防止大賞」優秀賞を受賞しました。
一つは、ゼオローラ®Hで、電子部品などの洗浄剤やポリマーコーティング溶剤として使用されています。HCFC類やPFC類からの切替えのみならず、今後、VOC対策の中で塩素系溶剤代替、CO2排出削減が要求されていく中でエネルギー負荷の大きい水系洗浄剤代替としても採用が予測されています。
ゼオローラ®Hは、オゾン層破壊係数ゼロ、大気寿命3.4年の地球に優しい溶剤で、不燃性を維持する中で最大限の水素原子を分子中に導入し、短い大気寿命を達成したユニークな化学構造を有します。塩素を含まないにもかかわらず、環状構造のため、また沸点が適度に高いこと等から優れた溶解力を示し、他フッ素系溶剤に比較して比較的沸点が高いため、揮発ロスが少なく環境への排出も抑えることが出来ることも特徴です。
もう一つは、ゼオローラ®ZFL-58で、半導体製造用ドライエッチング剤として、大手半導体メーカーで使用されています。オゾン層破壊係数ゼロ、大気寿命0.98年の環状化合物で、分子中に二重結合を有し、大気寿命を極度に短くする分子設計を始めて採用したユニークな化合物です。高い選択性、高いエッチングレートを有しており、短い大気寿命はPFCに比べ極度に低い温暖化特性を達成しています。
半導体の主用途であるパソコンは小型化、薄型化、高速化を要求されており、半導体にも微小化、高性能化とともに低価格化が求められていますが、ゼオローラ®ZFL-58は性能と低環境影響の両面で貢献しています。


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