ZEON
TECHNICAL DETAILS

高純度フッ化炭素の用途展開

公開範囲
ローカル
締切
2024/07/31
担当部署
ZEON NEXT探索室
概略
半導体のドライエッチング工程用途の高いエッチング選択性を有する非高圧エッチングガス（組成式： C5F8 、一般名：オクタフルオロシクロペンテン）を他の用途での適用を検討しています。
基本性能
物性：融点－70℃/沸点27℃/比重1.58
地球温暖化係数（GWP）：90（CO2＝1）
性質：不燃性、常温液体
関係法令：非該当(オゾン層保護法、地球温暖化対策推進法、PRTR法、消防法、高圧ガス保安法)
健康有害性（GHS分類区分）：急性毒性（吸入：気体） 、急性毒性（吸入：蒸気）、目に対する重篤な損傷性又は眼刺激性
製品純度：99.99％（4N）
荷姿：シリンダー（5kg、10kg、55kg）
想定される適用範囲​
半導体用洗浄剤：チャンバーの洗浄用途（低GWPガス）
電気絶縁体：低GWPガスとして
中間体原料：染料用途
募集条件
工場/研究所での使用を想定。開放系での使用は管理が必要。
応募は法人様限定。

技術事項

沸点[℃]
27
比重[25℃]
1.5800
粘度(Pa*s)
0.0038
表面張力(mN/m)
17.8
比熱(kg*K)
1160
気化潜熱(kJ/kg)
118
臨界温度(℃)
159.9
臨界圧力(MPa)
2.47
引火点(℃)
なし
爆発性
なし
引火性
不熱性
オクタノール/水分配係数
2.9
水に対する溶解度(g/100g water)
0.00756
水の溶解度(g/溶媒100g)
0.0072
大気寿命(年)
0.98
GWP(CO2=1 100年)
90
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